ESD的產生形式如下：
1. 傳導：對于導電材料來說，電子能在表面流動時，與帶電物體相接觸，就會發生電荷轉移。
2. 感應：針對導電材料而言，因電子能在它的表面自由流動，如將其置于一電場中，由于同性相斥，異性相吸，正負電子就會轉移。
3. 摩擦：當兩個不同材質的物體接觸后再分離，可產生靜電，而產生靜電的最普通方法，就是摩擦。絕緣性越好，摩擦生電就越容易。
ESD三種損壞形式如下：
1. 當手持ESD敏感裝置而不先拽放電荷到地，此時摩擦電荷就會轉到ESD裝置而造成損壞。
2. 微電子器件帶電型式是指ESD敏感的裝置，特別是塑料件。在生產過程中，會產生摩擦電荷，而這些摩擦電荷通過低電阻的線路非常迅速地瀉放到高度導電的牢固接地表面，從而造成損壞；或者通過感應使ESD敏感的裝置的金屬部分帶電而造成損壞。
3. 另一種就是場感類，即有強電場圍繞。這可能產生在塑性材料或人的衣服，會發生電子轉化跨過氧化層。若電位差超過氧化層的介電常數，側會產生電弧以破壞氧化層，其結果為短路。
